비버놀로지

[SECS/GEM] Alarm Management 본문

Semiconductor/SECS GEM

[SECS/GEM] Alarm Management

KUNDUZ 2021. 8. 11. 17:11
728x90
  • 개요
    • 장비의 Alarm 상태를 Host에 알리는 기능
    • 모든 ALID에 대해 ALARM CLEAR와 ALARM SET의 State가 정의되고, State  transition에 대해 Event가 정의되어야 한다.
    • Alarm이 발생하면, Alarm Report 이외에 위에 정의된 Collection Event가 따라서 발생해야 한다.
  • Messages
    • S5F1/F2 - Alarm Report
    • S5F3/F4 - Enable/Disable Alarm
    • S5F5/F6 - Alarm Data Request
  • 기타
    • ALCD, ALID, ALTX
    • AlarmSet, AlarmsEnabled
    • 장비의 모든 Alarm에 대해 장비 재가동 이전에 필요한 조치가 문서로 제공되어야 한다.
    • Enable/Disable Alarm 기능은 Alarm Report에만 영향을 끼치고, 수반되는 Collection Event와는 무관
    • Alarm Report가 언제나 연관된 Collection Event에 선행

 

 

728x90

'Semiconductor > SECS GEM' 카테고리의 다른 글

[SECS/GEM] Equipment Terminal Services  (0) 2021.08.13
[SECS/GEM] Remote Control  (0) 2021.08.13
[SECS/GEM] Spooling  (0) 2021.08.11
[SECS/GEM] Limits Monitoring  (0) 2021.08.11
[SECS/GEM] Trace Data Collection  (0) 2021.08.11
Comments