[SECS/GEM] GEM (SEMI E30)

• Scope
  • 반도체 장비의 동작 방식을 통신의 관점에서 정의
  • 특정 상황에서 어떤 SECS-II Message를 사용해서 통신을 하고, 또 어떤 행동을 해야 하는지를 정의
• Intent
  • SECS-II 통신 관심에서 반도체 장비의 행동 모델 제시
  • 반도체 생산 관점에서 제어 기능과 정보교환 방법 제시
  • 장비의 다양한 동작에 대해 작업 완료를 위한 단일 수단 제시
  • 표준화된 Message 송수신 방법 제시