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[SECS/GEM] SECS/GEM 변수 (Variable) 본문

Semiconductor/SECS GEM

[SECS/GEM] SECS/GEM 변수 (Variable)

KUNDUZ 2021. 8. 10. 13:42
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▶변수의 종류는 SVID, DVID, ECID, CEID 등이 있다.

    ▷Status Variable ID

    ▷Data Variable ID

    ▷Equipment Constants ID

    ▷Collection Event ID

 

 

 

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