Semiconductor/SECS GEM
[SECS/GEM] Alarm Management
KUNDUZ
2021. 8. 11. 17:11
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- 개요
- 장비의 Alarm 상태를 Host에 알리는 기능
- 모든 ALID에 대해 ALARM CLEAR와 ALARM SET의 State가 정의되고, State transition에 대해 Event가 정의되어야 한다.
- Alarm이 발생하면, Alarm Report 이외에 위에 정의된 Collection Event가 따라서 발생해야 한다.
- Messages
- S5F1/F2 - Alarm Report
- S5F3/F4 - Enable/Disable Alarm
- S5F5/F6 - Alarm Data Request
- 기타
- ALCD, ALID, ALTX
- AlarmSet, AlarmsEnabled
- 장비의 모든 Alarm에 대해 장비 재가동 이전에 필요한 조치가 문서로 제공되어야 한다.
- Enable/Disable Alarm 기능은 Alarm Report에만 영향을 끼치고, 수반되는 Collection Event와는 무관
- Alarm Report가 언제나 연관된 Collection Event에 선행
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