[SECS/GEM] SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard I) 프로토콜

SECS-I 표준은 반도체 처리 장비와 호스트간의 메시지 교환에 적합한 통신 인터페이스를 정의한다. 반도체 처리 장비는 웨이퍼 생산, 웨이퍼 처리, 처리 측정, 조립, 포장을 하는 장비를 포함한다. 호스트는 생산을 수행하기 위해 장비와 정보를 교환하는 컴퓨터 혹은 컴퓨터 네트워크이다. 이 표준은 물리적 연결자, 신호 수준, 데이터 비율, 시리얼 데이터 경로에서 호스트와 장비간의 메시지 교환에 필요한 로직 프로토콜의 설명을 포함한다. 이 표준은 메시지 내에 포함된 데이터는 정의하지 않는다. 메시지의 의미는 SEMI Equipment Communications Standard E5 (SECS-II)와 같은 어떤 메시지 내용 표준을 통해 정의되어진다.

 

SECS-I 표준은 연결자와 전압에 대해 EIA RS-232-C와 JIS C 6361와 같이 잘 알려진 국제 표준을 사용한 점대점(Point to Point) 통신을 정의한다. 실제 전송은 1-bit 시작과 1-bit 정지 비트를 갖고 시리얼로 전송되는 8-bit 바이트들로 구성된다. 통신은 양방향이고 비동기이며 한순간에 한 방향으로만 흐르게 된다. 데이터는 254 바이트 이하의 블록으로 전송된다. 각 블록은 10 바이트 헤더를 갖는다. 메시지는 한 방향 통신에서 완전한 통신 단위이고 1개에서 32,767개 블록들로 구성된다. 각 블록 헤더는 특정 메시지의 일부분으로써 블록을 정의하는 정보를 포함한다. 메시지는 Transaction이라 불리는 요구와 응답으로 짝지어진다.