[SECS/GEM] SECS (SEMI Equipment Communications Standard) 프로토콜

SECS (SEMI Equipment Communications Standard) 프로토콜은 반도체 장비와 컴퓨터간의 메시지 교환을 위한 일대일 대응의 표준통신 규약으로 전송 체계를 규정하는 HSMS (High-Speed SECS Message Services), SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard I)와 메시지 내용을 규정한 SECS-II (SEMI Equipment Communications Standard II)로 구성된다. HSMS 통신규약에서 기본통신 매체는 TCP/IP 이며, SECS-I에서 기본 통신 매체는 RS-232로 규정된다. 그림 2는 SECS 프로토콜 레이어를 나타낸 것으로 SECS-I은 메시지의 송수신 및 타임아웃 등을 체크한다. SECS-II에서는 SECS-I 및 HSMS을 이용해서 메시지를 전송하거나, 수신된 메시지를 해석하는 역할을 수행한다.

 

반도체 장비에서의 통신 규격은 SEMI가 규정하고 있는 SECS가 있다. SECS란 SEMI Equipment Communication Standard의 약자이며, 반도체 장비간 통신의 표준으로 자리잡았다. SEMI의 통신 규격을 통칭하여 SECS라 칭하고 있다. 이 표준 규격은 시대와 기술의 변화에 따라 지속적으로 변화하는 양상을 보이고 있다.

 

SECS 규격으로는 현재까지 총 13개 분야 총 772개의 규격이 제시되고 있다. 대표적인 표준분야로는 장비 자동화 하드웨어(92개 규격), 장비 자동화 소프트웨어(54개 규격), FPD(Flat Panel Display: 42개 규격), MEMS(3개 규격), 세이프티 가이드라인(27개 규격) 등을 포함한다. 또한 SEMI 표준은 완료된 상태가 아니라, 지속적인 진행형 단계를 밟고 있다. 반도체 장비와 관련한 기술 발전과 새로운 프로세스의 등장 등으로 인해 새로운 분야와 새로운 규격의 필요성이 꾸준히 요청되는 분야이기 때문이다.