[SECS/GEM] SECS-II 프로토콜이란?

70년대말에 처음 제시된 SECS-I은 당시 거의 대부분의 장비가 채택하고 있던 시리얼 통신에 대한 접속 방법에 대한 규약으로 80년대 들어 표준으로 채택되어 사용되어 왔다. 곧이어 SECS-II 표준이 발표되었는데, SECS-II는 실제 통신이 이루어지는 데이터 정의에 대한 규약이다.

 

SECS-II는 장비와 호스트 간에 사용되는 메시지의 구조와 기능을 규정한다. 특히 반도체 제조공정에서 장비의 제어에 필요한 기능을 포함한다. SECS-II에서의 각각의 레이어의 특징은 다음과 같다.

 

(1) Data Item Formats : Integer data, Floating-Point data, Lists처럼 Data Item 포맷을 정의함.

 

(2) Standard Data Item Definitions : 표준으로 사용되는 Data Item의 포맷을 정의.

 

(3) Standard Message Structure : 표준으로 사용되는 메시지를 Stream과 Function의 형태로 정의.

 

• 실제로 Host와 Equipment 사이에 교환되는 통신내용(Content)의 세부 사항을 정의한다.
• 초기에는 SECS-I에 완벽하게 적용할 수 있는 프로토콜로 개발되었고, 이후에 나온 HSMS에도 완벽히 적용된다.
• SECS-II 프로토콜이 통신 내용(Content)을 정의하고 있으나, SECS-II 단독으로는 불완전하고, SECS-I 이나 HSMS와 함께 사용되어야 한다.