[SECS/GEM] SECS-II Stream & Function

장비와 호스트 간에 주고받는 메시지 이름은 stream과 function의 조합으로 표시된다. Stream은 기능이 유사한 메시지들의 집합이며 stream에 속하는 각각의 메시지를 function 이라 한다.

 

다시 정리하자면, 스트림은 유사한 특성을 갖는 메시지의 그룹이고, 펑션은 각 스트림 내에서 특정한 기능을 하는 메시지를 가리킨다. 스트림과 펑션을 조합해서 흔히 S1F1, S6F11 등과 같이 SECS-II 메시지를 표현한다.

 

SEMI에서는 특정한 기능을 갖는 SECS-II 메시지를 이미 많이 만들어 두고 사용하고 있다. 또한 사용자가 자신에게 맞는 메시지를 따로 정의해서 사용할 수 있도록 방법을 제시하고 있다.

 

표 3은 SEMI에서 표준으로 정한 메시지와 사용자가 정의해서 사용할 수 있는 stream 과 function을 분류한 것으로 stream 1 – 63에 속하는 function 0 – 63은 SEMI에서 장비와 호스트 간의 통신을 의해서 정의해 놓은 메시지 규약으로 반도체 제조공정에 필요한 기본적인 내용을 포함하고 있으며 stream 1 – 63에 속하는 function 64 – 255 와 stream 64-127에 속하는 function 1 – 255 사이의 메시지는 사용자가 메시지 의미를 정의해서 사용할 수 있다.

 

표 4는 SEMI에서 표준으로 정한 stream의 몇 가지 예를 나타낸 것으로 stream1은 장비상태를 알기위해 사용하는 메시지로 S1F1은 handshake에 사용되며 S1F3은 제조공정에 사용되는 파라메타 값을 장비에 요구할 때 사용한다. Stream5은 장비오류를 호스트로 전송할 때 사용하며 stream9은 시스템 오류로 장비가 수신 메시지를 처리하지 못했을 때 사용한다. S9F1은 잘못된 Device ID를 사용했을 경우에, S9F3은 정의되지 않은 stream을 사용했을 때 각각 사용한다.

 

 

Function

• Stream 안에서 각 세부 기능에 관련된 개별 Message
• Primary Message는 모두 홀수의 Function 번호를 갖는다.
• Reply(Secondary) Message의 Function 번호는 Primary Message의 Function 번호에 1을 더한 값으로 모두 짝수이다.
• Function 번호 '0' 은 Message Transaction 취소를 위해 예약되어 있다.